载板电镀是指在金属载板上进行的电镀工艺。载板电镀的原理是基于电化学原理,即在电解质溶液的作用下,在金属载板上通过电流使金属离子还原,从而在载板上形成一层金属膜。不同的金属材料和电解质可以实现不同的电镀效果。
载板电镀的工艺流程包括:清洁、脱脂、进料、化学处理、水洗、电解沉积、除胶、终检等环节。其中,化学处理是整个工艺流程中重要的环节,其影响电镀效果的因素包括电压、电流、电解质浓度、流速等。
载板电镀核心工艺类型
在了解检测标准前,需先明确载板电镀的关键场景,不同工艺的检测重点略有差异:
种子层电镀:通常为薄层高纯度铜(1-3μm),用于后续图形电镀的导电基底,要求低电阻、无针孔;
图形电镀:核心工艺,在线路 / 焊盘区域电镀厚铜(5-20μm,甚至更高),实现电流传输与芯片键合支撑;
凸点(Bump)电镀:如铜凸点、锡凸点,用于芯片与载板的倒装焊互连,要求的高度 / 直径控制;
表面处理电镀:如镍(Ni)、钯(Pd)、金(Au)镀层(ENEPIG/ENIG 工艺),提升焊盘抗氧化性与键合可靠性。
相比黑影/日蚀,黑孔,导电膜等其他空金属化工艺,石墨烯孔金属化工艺采用二维材料高导电-石墨烯材料作为导电材料,高导电,超薄,吸附性强;物理性吸附;
石墨烯超低固含量0.01%-0.5%,彻底避免黑影,日蚀,黑孔等工艺常见的ICD异常问题;
在导通测试中,阻值变化为1.43%,IPC标准≤10%;在极限热冲击测试中,沉铜27次,石墨烯孔金属化工艺31次;