载板电镀是先进封装载板（如 IC 载板、扇出型封装载板等）制造中的核心工艺，其质量直接决定载板的电气性能、可靠性及封装良率。由于载板需实现高密度互连（HDI）、超细线路 / 焊盘（线宽 / 线距常＜20μm）及承载芯片的高可靠性要求，其电镀工艺及质量检测标准远高于传统 PCB，核心围绕 “镀层均匀性、致密度、附着力、纯度” 四大维度展开
镀层几何参数：控制是基础
载板的超细线路 / 凸点对几何尺寸要求，偏差会直接导致封装失效（如键合不良、短路）。
检测项目 核心标准要求 检测工具
镀层厚度 - 图形铜：厚度偏差≤±10%（如设计 10μm，实际需在 9-11μm）；
- 镍层：2-5μm，偏差≤±0.5μm；
- 金层：0.05-0.15μm（ENEPIG），偏差≤±20% X 射线荧光测厚仪（XRF）、金相显微镜
凸点尺寸（Bump） - 直径偏差≤±5%（如设计 50μm，实际 47.5-52.5μm）；
- 高度偏差≤±8%；
- 同一载板凸点高度差≤5μm 激光共聚焦显微镜、3D 轮廓仪
线路 / 焊盘精度 - 线宽偏差≤±10%（如设计 15μm，实际 13.5-16.5μm）；
- 焊盘直径偏差≤±5%；
- 线路边缘粗糙度（Ra）≤1μm
电气性能：保障信号传输与电流承载
载板需满足高频、大电流封装场景，电气性能是核心指标。
镀层电阻：
标准：铜镀层电阻率≤1.72×10⁻⁸Ω・m（接近纯铜理论值，杂质会导致电阻升高）；
检测工具：四探针电阻测试仪。
电迁移抗性：
标准：在 1×10⁵A/cm² 电流密度、125℃环境下，铜镀层电迁移失效时间≥1000h（避免长期使用中因金属迁移导致短路）；
检测方法：JEDEC JESD22-A108 电迁移测试标准。
可靠性/信耐度
漂锡测试:288度10sec，31次极限测试;(631所)
导通测试&Reflow 回流焊:260度，10秒20次;阻值变化
1.43%，
热油测试:260度，20秒，20次;125-65度，15min，500次;、 IST互联内应力测试:25-125度，1000次;
